第74回日本顕微鏡学会全国学術集会
一般公開プログラム
「ますます活躍の場を広げているFIB-SEMにおいて、より理解を深めるために基礎技術の復習から応用の幅を広げるアプリケーションまで幅広くご紹介をいたします。
コーヒーブレイクの時間では、気軽に相談できる雰囲気で普段なかなか聞けないことや疑問についてもお答えします。
ぜひご参加ください。」
| 下記フォームより参加登録を行ってください。 |
日時：2018年5月28日（月）13:30~17:30 (13:00より久留米シティプラザ4階にて受付開始） 場所：久留米シティプラザ 福岡県久留米市六ツ門町8-1
１) FIB-SEMの基礎技術 (1時間)
（日立ハイテクサイエンス 中谷郁子）
FIBの基礎的な技術構造や原理、デポジションやエッチングといった加工におけるちょっとしたヒントやその応用についてわかりやすくご紹介します。
コーヒーブレイク
2) FIB-SEMを使ったSiCパワーデバイスのドーパント観察例と高精度三次元画像解析例 (30分)
（日立ハイテクノロジーズ 佐藤高広）
SiCパワーデバイス内ドーパントのSEM観察では、FIB断面加工時に形成されたダメージ層が構造評価を困難にしています。
FIB加工で生じたダメージ層の除去を行い、その形状や分布を高コントラストで観察するアプリケーションをご紹介します。
また、高精度な三次元再構築を可能にする直交型FIB-SEMを使ったアプリケーション例をご紹介します。
3）電子顕微鏡画像の定量化と対象物抽出の工夫（30分）
（日本ローパー 池崎満里子）
電子顕微鏡画像は、試料形状による輝度ムラ、ノイズ等の影響で、輝度による自動2値化が困難で自動測定できないことが課題となっています。
本講演では、画像解析の2値化を容易にする、有効な前処理手法をご紹介します。
コーヒーブレイク
4) FIB-SEM複合機による無機材料の解析例 (30分)
(（財）ファインセラミックスセンター 加藤丈晴)
集束イオンビーム（FIB）装置に走査型電子顕微鏡（SEM）カラムを複合したFIB- SEM複合機では、FIBのみのシングルカラム装置と比較して、多くの機能が追加されたため、故障解析や材料における研究開発分野等で幅広く活用されている。FIB装置の基本機能を紹介した後、FIB-SEM複合機を用いた応用例として、FIB加工と、その後のSEM断面観察、さらに、透過型電子顕微鏡(TEM)/走査型透過電子顕微鏡(STEM)観察試料作製と、TEM/STEM観察事例について紹介します。
5）全体クロストーキング（質問意見交換）
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さらに高度な技術について知りたい方！学術集会内で多数のワークショップ・セッションが企画されています。これらの技術に興味をお持ちなら、迷わず学術集会へも参加登録してから、本チュートリアルにお申し込みください、お得です！
今回、日本顕微鏡学会では学会会員とは関係なく、すべての研究者の方に向けに、基礎技術チュートリアルを企画します。どなたでもご参加いただけます。
・顕微鏡学会学術講演会参加の方は無料です。お申し込みの際、参加登録番号をご記入ください。学術集会参加登録はこちら
・本チュートリアルのみ参加の方は、参加費¥5,000とさせていただきます。当日現金にてお支払いください。
（尚、本チュートリアル参加証で会期中の機器展示もご覧いただけます。）
事前受付は2018年5月26日正午で締め切りましたが、
当日受付も致します。
参加ご希望の方は、会場にて5月28日（月）13:00より参加受付を開始します。
久留米シティープラザ4階までお越しください。